摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜應(yīng)力測(cè)量裝置，包括激光器、擴(kuò)束鏡、會(huì)聚透鏡、帶分光鏡的移測(cè)顯微鏡以及鍍有鋁半透膜的平面玻璃，所述激光器發(fā)出的激光束照射至擴(kuò)束鏡成為發(fā)散光束后，再通過(guò)會(huì)聚透鏡成為平行光束至分光鏡，所述分光鏡將光垂直反射至平面玻璃上，所述分光鏡為傾斜度可調(diào)，所述測(cè)試樣品放在平面玻璃上，垂直入射的激光束照射在半透膜平面以及薄膜樣品上，反射后的激光束產(chǎn)生等厚干涉條紋，并顯示在移測(cè)顯微鏡中。本發(fā)明的薄膜應(yīng)力測(cè)量方法基于基片彎曲發(fā)和牛頓環(huán)的原理，搭建了簡(jiǎn)便的薄膜應(yīng)力測(cè)量裝置，能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的應(yīng)力隨薄膜厚度的變化，本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便，測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確，適用性廣。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人蘇州精創(chuàng)光學(xué)儀器有限公司;
- 發(fā)明人尚修鑫;
- 地址215300 江蘇省蘇州市昆山市開(kāi)發(fā)區(qū)章基路189號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410606292.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年11月03日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104316234A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年01月28日
- 分類號(hào)G01L1/24(2006.01)I;
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