摘要：本發(fā)明的目的是提供一種同時具備高速率、高分辨率、高驅(qū)動力的雙模超聲波線性馬達(dá)。其基本原理是在壓電陶瓷驅(qū)動器的振動和摩擦下利用慣性實現(xiàn)線性移動，將超聲波振動能量變換成物體的平動動能。本發(fā)明所提出的雙模超聲波線性馬達(dá)的創(chuàng)新之處是將高速率和高精度這兩個傳統(tǒng)上不能兼容的指標(biāo)在同一設(shè)備上實現(xiàn)。該馬達(dá)不僅能以mm/s的高速率模式運行，還能以分辨率為納米量級的高精度模式運行。同時，該馬達(dá)還能工作在極低溫、超高真空、強(qiáng)磁場等極端條件下，具有行程大，負(fù)載高的優(yōu)點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人森泉(上海)光電科技有限公司;
- 發(fā)明人殷立峰;黃少華;姜炎;
- 地址200433 上海市楊浦區(qū)國定路335號1號樓6003室
- 申請?zhí)?/b>CN201210215562.9
- 申請時間2012年06月27日
- 申請公布號CN103516252A
- 申請公布時間2014年01月15日
- 分類號H02N2/02(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I;
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