摘要：本發(fā)明的目的是提供一種同時(shí)具備高速率、高分辨率、高驅(qū)動(dòng)力的雙模超聲波線性馬達(dá)。其基本原理是在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的振動(dòng)和摩擦下利用慣性實(shí)現(xiàn)線性移動(dòng)，將超聲波振動(dòng)能量變換成物體的平動(dòng)動(dòng)能。本發(fā)明所提出的雙模超聲波線性馬達(dá)的創(chuàng)新之處是將高速率和高精度這兩個(gè)傳統(tǒng)上不能兼容的指標(biāo)在同一設(shè)備上實(shí)現(xiàn)。該馬達(dá)不僅能以mm/s的高速率模式運(yùn)行，還能以分辨率為納米量級(jí)的高精度模式運(yùn)行。同時(shí)，該馬達(dá)還能工作在極低溫、超高真空、強(qiáng)磁場(chǎng)等極端條件下，具有行程大，負(fù)載高的優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人森泉(上海)光電科技有限公司;
- 發(fā)明人殷立峰;黃少華;姜炎;
- 地址200433 上海市楊浦區(qū)國(guó)定路335號(hào)1號(hào)樓6003室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210215562.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年06月27日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103516252A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年01月15日
- 分類號(hào)H02N2/02(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I;
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