摘要：本發(fā)明公開了加熱材料制備技術(shù)領(lǐng)域的一種硅殼鎢芯加熱絲及其制備方法。所述加熱絲為在鎢絲外表面包裹有高純硅。本發(fā)明的制備方法為將鎢絲繞制成所需要的形狀放入化學(xué)氣相沉積反應(yīng)爐中，通過化學(xué)氣相沉積反應(yīng)在鎢絲表面沉積高純硅。本發(fā)明的加熱絲可廣泛應(yīng)用于各類需要加熱的真空設(shè)備之中，能夠長期、穩(wěn)定、有效地為系統(tǒng)提供熱源。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華北電力大學(xué);
- 發(fā)明人陳諾夫;何海洋;辛雅焜;吳強;弭轍;白一鳴;高征;
- 地址102206 北京市昌平區(qū)回龍觀朱辛莊2號
- 申請?zhí)?/b>CN201310349665.9
- 申請時間2013年08月12日
- 申請公布號CN103428908B
- 申請公布時間2015年06月24日
- 分類號H05B3/12(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;
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