摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種可降低誤差的傳感器及其測(cè)量方法，傳感器結(jié)構(gòu)包括：第一基板、第二基板、第三基板、加熱電阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。測(cè)量壓力方法：加熱電阻通電加熱第一基板的空腔，其空腔內(nèi)空氣熱脹加壓到第二基板膜片；降低加熱電阻的加熱功率；測(cè)量第二基板的膜片上的壓力。通過(guò)上述步驟，第二基板的膜片可以維持在機(jī)械遲滯曲線的卸載線上，能夠避免膜片位置的不確定性問(wèn)題，遏制機(jī)械遲滯偏移造成的誤差，改善壓力傳感器的測(cè)量精度。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人南京高華科技股份有限公司;
- 發(fā)明人李維平;劉清惓;黃標(biāo);周曉;佘德群;
- 地址210049 江蘇省南京市棲霞區(qū)馬群科技園神馬路2號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210585486.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月26日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103076132B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年10月05日
- 分類(lèi)號(hào)G01L9/00(2006.01)I;
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