摘要：本發(fā)明公開了一種光柵細(xì)分方法，包括：S1、一種光柵細(xì)分的方法，其特征在于，包括：S1.運(yùn)用信號差分放大原理將光柵尺輸入的四路相位信號整合成兩路相位信號；S2.判斷所述的兩路相位是否相差呈形成標(biāo)準(zhǔn)圓的90度；S3.根據(jù)光儀器的精度，將所述的標(biāo)準(zhǔn)圓分成若干等份；S4.根據(jù)所述的等份確定采樣數(shù)據(jù)對應(yīng)于所述標(biāo)準(zhǔn)圓上的位置。本發(fā)明還公開了一種光柵細(xì)分方法裝置和系統(tǒng)。實(shí)施本發(fā)明的光柵細(xì)分方法和裝置大大改善了系統(tǒng)定位精度，使光柵在工業(yè)定位控制上面的定位精度更為準(zhǔn)確、連續(xù)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人深圳市菲恩測控科技有限公司;
- 發(fā)明人汪紅兵;余海林;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道麗山路大學(xué)城創(chuàng)業(yè)園310室
- 申請?zhí)?/b>CN201110387477.6
- 申請時(shí)間2011年11月29日
- 申請公布號CN102519503A
- 申請公布時(shí)間2012年06月27日
- 分類號G01D5/38(2006.01)I;
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