摘要：本發(fā)明涉及一種采用混合波長(zhǎng)、平頂高斯光束進(jìn)行皮秒脈沖激光加工的系統(tǒng)。該系統(tǒng)由一個(gè)皮秒激光光源、一個(gè)倍頻裝置，一個(gè)折轉(zhuǎn)反射鏡組、一個(gè)用來(lái)將普通的高斯光束整形成平頂高斯光束的非球面整形透鏡組、一個(gè)擴(kuò)束系統(tǒng)、一個(gè)可以控制移動(dòng)的反射鏡、一個(gè)聚焦鏡、一個(gè)控制裝置構(gòu)成。本發(fā)明的激光加工系統(tǒng)可以有效的實(shí)現(xiàn)皮秒脈沖激光情況下的平頂高斯光束加工，來(lái)在加工件表面進(jìn)行平整加工。此外，采用精密控制技術(shù)，可以有效提高平頂加工范圍，實(shí)現(xiàn)寬范圍的平整加工。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人中國(guó)科學(xué)院光電研究院;北京國(guó)科世紀(jì)激光技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人趙天卓;余錦;樊仲維;劉洋;張雪;麻云鳳;閆瑩;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路95號(hào)自動(dòng)化大廈
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201010268576.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年09月01日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102380709A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年03月21日
- 分類(lèi)號(hào)B23K26/04(2006.01)I;B23K26/073(2006.01)I;
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