摘要：一種熱解氮化硼板材的制備方法及該方法所用的氣相沉積爐，屬于特種陶瓷材料制備技術(shù)領(lǐng)域。該方法采用具有進(jìn)氣機(jī)構(gòu)并且在爐內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)的模具的氣相沉積爐，原料氣體為N2、NH3和BCl3的混合氣體，其中：N2、NH3和BCl3氣體的mol比為30-10∶10-1∶8-0.5，氣相沉積爐的爐溫為1700～2000℃，保溫時(shí)間為14-26h，所述的旋轉(zhuǎn)模具在所述的氣相沉積爐內(nèi)呈傾斜設(shè)置。優(yōu)點(diǎn)：由于將旋轉(zhuǎn)的模具在氣沉積爐內(nèi)呈斜設(shè)置，從而能使原料氣體沿傾斜角度向上偏流，在流動(dòng)過程中將溝槽填平，使得到的熱解氮化硼板材表面平整，有利于顯著減小殘余應(yīng)力和提高合格率；提供的沉積爐結(jié)構(gòu)簡單，能保障熱解氮化硼板材的所述技術(shù)效果的全面體現(xiàn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人蘇州明林光電科技有限公司;
- 發(fā)明人趙林;趙鳳鳴;
- 地址215513 江蘇省蘇州市常熟市常熟經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)沿江工業(yè)區(qū)馬橋路6號(hào)馬橋工業(yè)坊22棟
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201110323008.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年10月21日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102330068B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年10月10日
- 分類號(hào)C23C16/34(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
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