摘要：一種懸浮傳輸裝置，用于對半導體晶片以及液晶玻璃等板狀的被傳輸物品實施懸浮傳輸，它包括設置在傳輸路徑下方的風機過濾器單元，該風機過濾單元向著傳輸路徑上的被傳輸物品噴射氣流，所述的噴射氣流不但使得被傳輸物品懸浮起來，并且使得被懸浮物品沿著一定方向移動，所述的風機過濾單元還可以在被傳輸物品在懸浮移動的過程中，噴出潔凈的空氣流包圍被傳輸物品。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人平澤紘介;周樂;渡邊直樹;
- 地址215011江蘇省蘇州市新區(qū)玉山路72號
- 申請?zhí)?/b>CN200710020727.6
- 申請時間2007年03月23日
- 申請公布號CN101020539A
- 申請公布時間2007年08月22日
- 分類號B65G51/03(2006.01);B65G49/06(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/677(2006.01);
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