摘要：一種懸浮傳輸裝置，用于對(duì)半導(dǎo)體晶片以及液晶玻璃等板狀的被傳輸物品實(shí)施懸浮傳輸，它包括設(shè)置在傳輸路徑下方的風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元，該風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元向著傳輸路徑上的被傳輸物品噴射氣流，所述的噴射氣流不但使得被傳輸物品懸浮起來(lái)，并且使得被懸浮物品沿著一定方向移動(dòng)，所述的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元還可以在被傳輸物品在懸浮移動(dòng)的過(guò)程中，噴出潔凈的空氣流包圍被傳輸物品。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人平澤紘介;周樂(lè);渡邊直樹(shù);
- 地址215011江蘇省蘇州市新區(qū)玉山路72號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200710020727.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2007年03月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101020539A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2007年08月22日
- 分類號(hào)B65G51/03(2006.01);B65G49/06(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/677(2006.01);
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