無塵室無塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風(fēng)系統(tǒng)即可達(dá)到零水平，然而實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。無塵室內(nèi)如何控制微粒子濃度呢?1、 不攜入 :人、機(jī)、料進(jìn)無塵室不攜入微粒子(1)進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再

　　無塵室

　　無塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風(fēng)系統(tǒng)即可達(dá)到零水平，然而實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。

　　無塵室內(nèi)如何控制微粒子濃度呢?

　　1、 不攜入 :人、機(jī)、料進(jìn)無塵室不攜入微粒子

　　(1)進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過風(fēng)淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進(jìn)入無塵室。

　　(2)機(jī)器、材料進(jìn)無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才能進(jìn)入無塵室。

　　(3)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　2、不發(fā)生 :無塵室內(nèi)動(dòng)態(tài)環(huán)境下機(jī)、料的不發(fā)生控制;

　　在控制最大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

　　(1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài);

　　(2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);

　　(3)采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油;

　　3、不儲(chǔ)備：

　　現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)(動(dòng)態(tài))，無塵室要想達(dá)到動(dòng)態(tài)潔凈級(jí)別，因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。

　　控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn) 行除電。

　　4、排除/除去

　　在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：

　　由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對(duì)理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對(duì)策。